The 70th JSAP Spring Meeting 2023

Presentation information

Oral presentation

6 Thin Films and Surfaces » 6.2 Carbon-based thin films

[15p-A408-1~14] 6.2 Carbon-based thin films

Wed. Mar 15, 2023 1:00 PM - 4:45 PM A408 (Building No. 6)

Kazuhiro Kanda(Univ. of Hyogo), Toru Harigai(Toyohashi Univ. of Tech.)

2:15 PM - 2:30 PM

[15p-A408-6] Deposition of amorphous carbon nitride thin films by pressure-gradient RF magnetron sputtering

Masami Aono1, Masami Terauchi2, Kyoji Morita3, Tasuku Inoue3, Kazuhiro Kanda3 (1.Kagoshima Univ., 2.IMRAM Tohoku Univ., 3.LASTI, Univ. Hyogo)

Keywords:amorphous, carbon nitride, spectroscopy

本研究では、窒素含有量とsp3C-N結合量の両方を同時に向上させることを目的に、スパッタターゲット近傍の窒素ガス圧を高めた、圧力勾配式反応性高周波マグネトロンスパッタ法を用いて、アモルファス窒化炭素薄膜の作製を試み、その化学結合状態をX線光電子分光法(XPS)、軟X線発光分光法(SXES)、吸収端近傍X線吸収微細構造分光法(NEXAFS)を用いて解析した。