[15p-B309-1~19] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [15p-B309-6] 【注目講演】トモグラフィック発光分光計測によるアルゴン誘導結合プラズマの電子温度・電子密度の空間分布診断

〇(DC)山下 雄也¹、土居 謙太²、清田 哲司²、浅川 慶一郎²、細谷 宗太郎¹、菊地 航行¹、根津 篤¹、赤塚 洋¹ (1.東工大、2.アルバック)

キーワード：発光分光計測、トモグラフィ、衝突輻射モデル

近年、トモグラフィを用いた診断が報告されつつある。しかし、原子分子過程を詳細に考慮した報告がなく、解析に起因する不確かさが著しいことが課題であった。本研究では、アルゴン誘導結合プラズマを対象にトモグラフィック発光分光計測を実施した。原子分子過程を詳細に記述できる原子分子過程モデルである、衝突輻射モデルに基づいて解析した。これにより、電子温度・電子密度の空間分布診断を定量的に実現した。