The 70th JSAP Spring Meeting 2023

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Oral presentation

13 Semiconductors » 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[15p-B410-1~15] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

Wed. Mar 15, 2023 1:00 PM - 5:30 PM B410 (Building No. 2)

Masato Sone(Tokyo Tech), Fumito Imura(Hundred Semiconductors Inc.)

1:00 PM - 1:15 PM

[15p-B410-1] Analysis of Lot-to-lot Variation in Minimal Fab

Hiroyoshi Hongoh1, Sommawan Khumpuang1,2, Shiro Hara1,2,3 (1.MINIMAL, 2.AIST, 3.Hundred)

Keywords:Minimal Fab

ミニマルファブでは、搬送エラーやプロセスエラーの低減に注力してきており、最近ではこれらのエラーも改善されてきている。生産ファブへの移行を目指す次の段階として、今回はトランジスタを含む回路を搭載するウェハをミニマルファブで複数回数作成して、デバイスの性能ばらつきを測定し、得られた結果について考察した。