[15p-B410-1~15] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[15p-B410-15] UVレーザー加工接着シートを用いた圧電バルブマイクロポンプ構造

〇岡本 有貴¹、山本 泰之¹、村本 智也¹、一木 正聡¹、小林 健¹ (1.産業技術総合研究所)

キーワード：MEMS、圧電薄膜アクチュエータ、マイクロポンプ

バルブ構造を利用するバルブ型マイクロポンプは比較的大きい圧力差を生み出せるため利用可能分野が広い。しかしながら、従来の手法でMEMSバルブ型マイクロポンプを行おうとすると作製工程が複雑化してしまう問題が存在していた。本稿では、ＵＶレーザー加工機を用いた接着シートと圧電薄膜を用いた標準的なバルクマイクロマシニングで作製可能なバルブ型マイクロポンプ構造について報告する。