[15p-D209-1~12] 7.2 Applications and technologies of electron beams

[15p-D209-12] Brightness and Richardson constant of LaB₆ thermionic emission in low-temperature operation

〇Futo Okada¹, Chotaro Kajita¹, Hidekazu Murata¹, Takayuki Tanaka¹, Eiji Rokuta¹ (1.Meijo Univ.)

Keywords:average brightness, Richardson constant, LaB6

次世代の電子線リソグラフィー装置や電子顕微鏡の性能向上のため、高性能電子源が必要不可欠である。これの実現のために（1）高輝度・大電流の同時達成、（2）長寿命化、（3）放出電流の高安定性の条件を満たす電子銃を開発することが重要である。我々はこれまで、上記の条件を満たす六ホウ化ランタン（LaB₆）を用いた電子源の開発を行ってきた。昨年の研究では、温度によって仕事関数が異なることを確認した[1]。今回は、さらに実験を進めると共に、実験条件と同様なシミュレーションを行い、平均輝度とリチャードソン定数の推定を行ったので報告する。