[16a-A202-1~4] 3.8 テラヘルツ全般（旧3.9）

△ [16a-A202-3] 共鳴トンネルダイオードプッシュプッシュテラヘルツ発振器の提案

〇(B)佐藤 太一¹、鈴木 左文¹、浅田 雅洋¹ (1.東工大)

キーワード：テラヘルツ(THz)、共鳴トンネルダイオード(RTD)

共鳴トンネルダイオード（RTD）発振器は小型で室温動作可能なTHz信号源の有力な候補である。我々は、スロットアンテナ集積型のRTD発振器により1.98THzの基本波発振を達成し、さらなる高周波化のために円筒形空洞共振器集積デバイスの提案を行ったが、3次元的な構造形成は困難である。そこで今回、抵抗で結合した2つの発振器の特有の動作モードを利用することにより、RTDの電流電圧特性の非線形性によって生じる2次高調波を基本波と分離して放射できる新たなデバイスを提案し、解析により面積0.68 μm²で2.83 THzの2次高調波が出力0.052μWで得られることがわかった。今後はデバイス作製を行う。