[16a-A409-1~10] 3.14 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス（旧3.15）

△ [16a-A409-8] ドーピング最適化によるInP-EOポリマーハイブリッド光変調器の高速化、低損失化の検証

〇作本 宙彌¹、中山 武壽¹、宮武 悠人¹、トープラサートポン カシディット¹、高木 信一¹、竹中 充¹ (1.東大工)

キーワード：フォトニクス、シリコンフォトニクス

我々は広帯域、低損失な光変調器としてInP-EOポリマーハイブリッド光変調器を提案、研究している。既存の研究ではプロセスの制約からドーピング濃度の最適化がなされていなかった。本研究では我々が作製しているドーピング可能なIII-V貼り合わせ基板上でのドーピング最適化による変調器の高速化と低損失化を検討し、400 GHzを超える低損失な変調器が実現可能であることがわかったので報告する。