[16a-B410-1~9] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

△ [16a-B410-4] Study of Structural Factors in Effective Young’s Modulus of Ti/Au Multi-Layered

〇(B)Shunkai Watanabe¹, Chun-Yi Chen¹, Tomoyuki Kurioka¹, Tso-Fu Mark Chang¹, Akira Onishi¹, Parthojit Chakraborty¹, Katsuyuki Machida¹, Hiroyuki Ito¹, Yoshihiro Miyake¹, Masato Sone¹ (1.Tokyo Tech.)

Keywords:MEMS, Accelerometer, Effective Youngs Modulus

近年、微小電気機械システム（MEMS）加速度センサの更なる小型化と高感度化が求められて いる。一方我々は、熱運動由来のノイズを低減するため、高密度な金材料からなる高感度 MEMS 加速度センサの開発を続けている。高感度 MEMS 加速度センサを設計するうえで、マイクロスケ ールでの金材料の様々な機械的特性の計測が重要である。本論文では、金めっきばねを設計するために、Ti/Au 積層構造を有するカンチレバーの実効ヤング率における構造因子の包括的研究を行う。積層構造（単層型（SL）、二層型（DL）、三層型（TL））やカンチレバーの長さ及び幅が異なるカンチレバーを設計し、寸法の異なる計240 本のカンチレバーを作製し、実効ヤング率を評価した。その結果、カンチレバーの幅は実効ヤング率に影響しないが、積層構造がカンチレバーの実効ヤング 率を決定する強い支配因子である結果を見出した。