[16a-B410-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [16a-B410-4] Ti/Au 多層カンチレバーの実効ヤング率における構造因子の研究

〇(B)渡邉 春海¹、Chun-Yi Chen¹、栗岡 智行¹、Tso-Fu Mark Chang¹、大西 哲¹、Parthojit Chakraborty¹、町田 克之¹、伊藤 浩之¹、三宅 美博¹、曽根 正人¹ (1.東工大)

キーワード：微小電気機械システム、加速度センサ、実効ヤング率

近年、微小電気機械システム（MEMS）加速度センサの更なる小型化と高感度化が求められて いる。一方我々は、熱運動由来のノイズを低減するため、高密度な金材料からなる高感度 MEMS 加速度センサの開発を続けている。高感度 MEMS 加速度センサを設計するうえで、マイクロスケ ールでの金材料の様々な機械的特性の計測が重要である。本論文では、金めっきばねを設計するために、Ti/Au 積層構造を有するカンチレバーの実効ヤング率における構造因子の包括的研究を行う。積層構造（単層型（SL）、二層型（DL）、三層型（TL））やカンチレバーの長さ及び幅が異なるカンチレバーを設計し、寸法の異なる計240 本のカンチレバーを作製し、実効ヤング率を評価した。その結果、カンチレバーの幅は実効ヤング率に影響しないが、積層構造がカンチレバーの実効ヤング 率を決定する強い支配因子である結果を見出した。