PDF ダウンロード スケジュール 12 いいね! 1 コメント (0) 10:15 〜 10:30 △ [16a-B410-5] Ti/Au 積層構造有するマイクロカンチレバーの長期構造安定性に対する幾何学構造の影響 〇宮井 良介1、栗岡 智行1、Chun-Yi Chen1、Tso-Fu Mark Chang1、大西 哲1、Parthojit Chakraborty1、町田 克之1、伊藤 浩之1、三宅 美博1、曽根 正人1 (1.東工大) キーワード:MEMS、金材料、長期構造安定性