[16a-D519-1~14] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 量子ビーム界面構造計測、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

△ [16a-D519-11] 反応性ガス吸着とO₂-GCIBを用いたNiパターンエッチング

〇作田 昂大¹、竹内 雅耶¹、豊田 紀章¹ (1.兵庫県立大工)

キーワード：ガスクラスターイオンビーム、エッチング