2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

CS コードシェアセッション » 【CS.1】 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 量子ビーム界面構造計測、7.5 イオンビーム一般のコードシェア

[16a-D519-1~14] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 量子ビーム界面構造計測、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

2023年3月16日(木) 09:00 〜 12:45 D519 (11号館)

盛谷 浩右(兵庫県立大)、高廣 克己(京工繊大)

11:45 〜 12:00

[16a-D519-11] 反応性ガス吸着とO2-GCIBを用いたNiパターンエッチング

作田 昂大1、竹内 雅耶1、豊田 紀章1 (1.兵庫県立大工)

キーワード:ガスクラスターイオンビーム、エッチング