[16a-D519-1~14] CS.1 Code-sharing Session of 2.3 & 7.4 &7.5

△ [16a-D519-2] Formation of Au nano-particles using nano structures on SiO₂ surface by Au-Si ion irradiation

〇Mayuto Uchida¹, Masayoshi Ichimiya², Takahiko Ban², Junichi Yanagisawa² (1.Grad. Sch. of Univ. of Shiga Pref., 2.Univ. of Shiga Pref.)

Keywords:ion implantation, Au nano-particles

金シリコン共晶合金液体金属イオン源からの2 keV以下のイオン照射で形成されるSiO₂表面の数10 nmのナノ突起構造を利用した金ナノ粒子の形成を試みた．照射した試料のX線回折では熱処理後にAu(111)，(200)，(220)の回折ピークが鋭くなり，光反射スペクトルでは波長525 nm付近に吸収ディップを確認した．過去の吸収スペクトルの結果から，約30 nmの金ナノ粒子の形成が示唆された．