PDF ダウンロード スケジュール 57 いいね! 5 コメント (0) 10:30 〜 10:45 [16a-E102-1] ミストCVD法による(001) β-Ga2O3薄膜のホモエピタキシャル成長 〇上田 遼1、西中 浩之1、永岡 達司2、三宅 裕樹2、吉本 昌広1 (1.京工繊大、2.ミライズテクノロジーズ) キーワード:酸化ガリウム、エピタキシャル成長、薄膜