[16p-A302-1~8] マイクロ・ナノスケール微細加工の表面界面先端技術

[16p-A302-8] CFET 性能バランス整合に向けた三次元異種チャネル集積技術

〇張 文馨¹、余 心仁^2,3、洪 子杰^2,4、李 耀仁^2,4、趙 天生⁴、王 永和³、前田 辰郎¹ (1.産総研、2.台湾半導体研、3.台湾成功大、4.台湾陽明交通大)

キーワード：CFET、CMOS、貼り合わせ