2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.3 絶縁膜技術

[16p-B508-1~17] 13.3 絶縁膜技術

2023年3月16日(木) 13:00 〜 17:45 B508 (2号館)

田岡 紀之(名大)、山本 芳樹(ルネサスエレクトロニクス)

16:15 〜 16:30

△ [16p-B508-12] 非晶質材料のELNESスペクトル解釈における局所原子構造の新指標

〇湯澤 佑介1、浅野 孝典1、河合 宏樹1、中村 健二1、萩島 大輔1、田中 洋毅1 (1.キオクシア)

キーワード：アルミナ、ELNES、STEM