The 70th JSAP Spring Meeting 2023

Presentation information

Oral presentation

13 Semiconductors » 13.3 Insulator technology

[16p-B508-1~17] 13.3 Insulator technology

Thu. Mar 16, 2023 1:00 PM - 5:45 PM B508 (Building No. 2)

Noriyuki Taoka(Nagoya Univ.), Yoshiki Yamamoto(Renesas Electronics)

4:30 PM - 4:45 PM

[16p-B508-13] Characterization of the multiple thin dielectric films in depth direction

Yusaku Tanahashi1, Keiko Inoue1, Hirofumi Seki1 (1.Toray Research Center)

Keywords:dielectric films, Step etching, FT-IR

Si系半導体の多層化や薄膜化に伴い、成膜プロセスにおける精密な制御が不可欠になっており、極薄膜の膜質や原子レベルでの界面評価など深さ方向を高分解能で評価するニーズが高まっている。本講演では、SiN(5nm)/SiO2(5nm)の積層絶縁膜に対し、ステップエッチング前処理法とFT-IR測定を組み合わせ、主成分の結合情報のみならず官能基を含めた深さ方向の膜質評価例を報告する。