[17a-A403-1~10] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[17a-A403-2] ナノシート電界効果トランジスタにおける電子速度オーバーシュートの影響とゲート長との関係

〇服部 淳一¹、福田 浩一¹、池上 努¹、林 喜宏¹ (1.産業技術総合研究所)

キーワード：ナノシート、TCAD