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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[17a-B401-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

2023年3月17日(金) 09:00 〜 11:45 B401 (2号館)

小林篤(東大)、林侑介(阪大)

09:45 〜 10:00

[17a-B401-4] スパッタ法でエピタキシャル成長させたScAlN薄膜の特性評価

〇小林篤¹、前田拓也²、本田善央³、上野耕平¹、藤岡洋¹ (1.東大生研、2.東大院工、3.名大未来研)

キーワード：ScAlN