[17a-PB01-1~25] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17a-PB01-14] ゾル－ゲル合成ZnGa₂O₄膜の発光特性に前駆体のpHが及ぼす影響

〇(B)相場 康平¹、深作 和寿¹、大越 康晴¹、中根 茂行²、名嘉 節²、石井 聡¹ (1.電機大理工、2.物材機構)

キーワード：ZnGa2O4、ゾル－ゲル法、前駆体

ZnGa₂O₄膜をゾル－ゲル法を用いて合成石英ガラス基板の表面に作製し、構造と発光特性を評価した。前駆体ゲルのpHを調整した結果、全てのpHに対し構造はZnGa₂O₄の他にZnOのピークを一部確認し、フォトルミネッセンスは500 nm付近の緑色領域と700 nm付近の赤色領域にピークを観測した。pHを高くすることで緑色領域のピークは小さくなり、赤色領域のピークは大きくなった。本結果から、前駆体ゲルのpH調整による発光色の制御が期待できる。