[17a-PB01-1~25] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

[17a-PB01-3] Crystalline orientation variation of Cu₂O films deposited on quartz glass substrates

Akari Yoshida², Shuhei Funaki¹, 〇Yasuji Yamada¹ (1.Shimane Univ. Soriko, 2.Shimane Univ. Shizen)

Keywords:Solar cell, sputtering, Crystallinity

2.1 eVのバンドギャップを有したCu₂Oは，赤色より長波長の光を透過することから，タンデム型太陽電池のトップセルとして使用可能である。スパッタリングによるCu₂O成膜において，Cuを添加したCu₂Oターゲットを用いると，無加熱成膜において石英ガラス基板上で結晶が (200)配向し結晶性も向上する。そこで，成膜温度を変化させた時のCu₂O膜の配向性と結晶性を調べたところ，特定の温度で (111)配向膜が得られることが分かった。結晶性は加熱成膜によってもCu添加Cu₂Oターゲットを用いた方が優れていた。