2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[17p-A205-1~18] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2023年3月17日(金) 13:00 〜 17:45 A205 (6号館)

唐橋 一浩(阪大)、藤崎 寿美子(日立製作所)

17:30 〜 17:45

[17p-A205-18] C2F4の電子物性とPTFEの生成機構

林 俊雄1、石川 健治1、関根 誠1、堀 勝1、兒玉 直人1、豊田 浩孝1 (1.名古屋大学工)

キーワード:テフロン、テトラフロロエチレン、重合

PTFEはC2F4冷媒研究中にDr. Roy J. Plunkettにより1938年に偶然発見された。しかし、その合成機構についての詳細な説明はされていない。我々はこの現象を計算化学により解明しようとし、計算を進めた結果、電子付着による重合であることが明らかになった。この機構の詳細を報告する。