[17p-A205-1~18] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[17p-A205-4] プラズマ処理による表面改質特性の長期保持技術

〇田口 貢士¹、山原 基裕¹、富川 弥奈¹、登尾 一幸¹ (1.株式会社魁半導体)

キーワード：プラズマ、自己組織化単分子膜、親水

従来、SAM(Self-Assembled Monolayer ; 自己組織化単分子層)は、プラズマ等によりサンプル表面を活性化した後、主に湿式法により形成されていた。我々は、プラズマの応用技術により、短時間でSAMを形成し、表面改質特性の長期保持が可能な技術を開発した。