[17p-PA07-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[17p-PA07-6] 原子状水素照射による水素フリーダイヤモンドライクカーボン薄膜の選択的エッチング

〇春山 雄一¹、森本 大貴¹、部家 彰²、住友 弘二²、豊田 紀章²、伊藤 省吾² (1.兵県大高度研、2.兵県大工)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、原子状水素照射、選択的エッチング

sp³/sp²比が異なる3種類の水素フリーDLC薄膜を作成し、原子状水素照射効果を光電子分光により調べた。原子状水素照射前、結合エネルギー284.4 eVにピークが観測されたが、原子状水素照射後、ピークは285.2 eVにシフトした。スペクトル変化は、原子状水素照射により、表面のsp²結合炭素が選択的にエッチングされたことを示している。発表では、水素フリーDLC薄膜に対する選択的エッチングの詳細について議論する。