[18a-A202-1~8] 3.13 Optical control devices and optical fibers (formerly 3.14)

[18a-A202-4] Fabrication of Polarization Splitter-Rotator on Multi-Micron Silicon Photonics

〇Yuto Suzuki¹, Kento Komatsu¹, Hiroki Miyano¹, Ryota Tanomura¹, Eisaku Kato¹, Abdulaziz Elfiqi¹, Takuo Tanemura¹, Yoshiaki Nakano¹ (1.The Univ. of Tokyo)

Keywords:Multi-Micron Silicon Photonics, Polarization Splitter-Rotator

厚膜シリコンフォトニクスはシリコンコア層が1 µm以上のSOI基板を用いた光集積回路プラットフォームであり，コア面積の大きさによる低損失性などに優れている一方で偏波制御素子が実用化されていないことが応用を制限していた．そこで著者らはこれまでにV溝導波路という新規構造を用いた偏波回転分離器を提案した．今回，V溝導波路の作製を実際に行い，作製誤差を許容範囲に収めた作製プロセスの確立に成功した．