[18a-A401-1~9] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

[18a-A401-6] 薄膜X線回折とX線反射率を組み合わせたベイズ解析

〇(DC)崎下 雄稀¹、鍋島 冬樹¹、前田 京剛¹、福島 孝治^1,2 (1.東大院総合、2.東大先進)

キーワード：ベイズ推定、マルコフ連鎖モンテカルロ法、レプリカ交換法

X線反射率測定と薄膜X線回折測定の2つの異なる実験データを組み合わせたベイズモデルを設計し、膜の厚さやラフネスなどの特性を推定する。その結果、それぞれの計測データのみによる推定と比較して、推定精度が向上することを報告する。さらに、膜厚の空間分布などを含んだ複雑なモデルを構築した結果も紹介する。