[18a-D215-1~8] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

[18a-D215-7] Fabrication of Polymer Waveguides formed by Nanoimprinting method

〇Chishu Mori¹, Yudai Isahaya¹, Yuuki Tsuji¹, Shohei Lin¹, Taegyu Woo¹, Taro Itatani², Fumi Nakamura², Joji Maeda¹, Takeru Amano² (1.Tokyo Univ. of Science, 2.AIST)

Keywords:nanoimprint, polymer, optical waveguide

電気素子と光素子を同一基板上に実装する光電融合技術では、基板上にポリマー光導波路を形成することで、光素子から光コネクタへの光配線が実現される。これまで我々は、3D形状の作製に適した光ナノインプリント技術を用いて、ポリマー材料を用いた光結合構造のプロセス検討を進めてきた。今回我々は、光電融合実装での光ナノインプリント技術を用いたシングルモード光導波路の作製に向けて、ポリマー光導波路の試作を行った。