[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性［ポスター］

[J224p-19] Effects of Surface Modified Layer on Bending Deformation of
Submicron-sized Graphite Cantilevers

〇Kiyohiko Kajiyama¹, Wataru Matsunaga¹, Hiroyuki Hirakata¹ (1. 京都大学)

Keywords:vdW積層材料、グラファイト、曲げ、表面改質層、層間すべり