[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性［ポスター］

[J224p-20] Development of Molybdenum micromachining using electrolytic etching

〇Norito Hashizume¹, Yasunori Oishi¹, Masayuki Sohgawa¹, Takashi Abe¹ (1. 新潟大学大学院自然科学研究科材料生産システム専攻機械科学コース)

Keywords:モリブデン、マイクロマシニング、電解エッチング