ニューノーマル時代の技術革新を支える電子部品材料

[2-8B] AD法による機能性複合厚膜作製のための静電集積粒子の設計

〇若林 駿^1,2、横井 敦史¹、Tan Wai Kian¹、河村 剛¹、松田 厚範¹、藤田 直幸²、武藤 浩行¹ (1.豊橋技術科学大学、2.奈良工業高等専門学校)

※この発表者は優秀講演発表賞の対象者です。

キーワード：静電相互作用、集積化技術、エアロゾルデポジション、ナノ粒子、複合粒子