[8-40A] Sr1+xTaO2+yN1-z 多結晶薄膜の作製と誘電特性評価
キーワード:酸窒化物、誘電特性、薄膜
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一般研究発表
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座長:桜井 裕也(物質・材料研究機構)、加藤 将樹(同志社大学)
キーワード:酸窒化物、誘電特性、薄膜
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