粉体粉末冶金協会2024年度秋季大会(第134回講演大会)

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企画セッション:負熱膨張粉体を用いた熱膨張制御

2024年11月20日(水) 15:15 〜 16:45 第 II 会場 (2F、会議室 203+204)

座長:西久保 匠(神奈川県立産業技術総合研究所)

15:15 〜 15:35

[2-41] 招待講演:負熱膨張材料による半導体集積回路内の応力制御 《物性》

*木野 久志1 (1. 九州大学)

キーワード:半導体、ひずみ技術、応力制御

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