[12P] ビームライン・測定器

[12P-27] 無酸素Pd/Ti蒸着ICF34ゼロレングス非蒸発型ゲッター（NEG）ポンプの開発

西口 宏¹、菊地 貴司²、*間瀬 一彦^2,3 (1. (有)バロックインターナショナル、2. 高エネルギー加速器研究機構、3. 総研大)

Keywords:非蒸発型ゲッター、無酸素Pd/Ti、真空、非蒸発型ゲッターポンプ