2020年日本表面真空学会学術講演会

講演情報

薄膜(TF)

[3Ba] 薄膜(TF)

2020年11月21日(土) 09:00 〜 12:00 B会場

座長:後藤 哲也・北川 雅俊

09:45 〜 10:00

[3Ba04] 窒素を添加したダイヤモンドライクカーボン膜特性へのポストアニール効果

○長内公哉1),中村和樹1),郡山春人1),小林康之1),遠田義晴1),鈴木裕史1),中澤日出樹1) (1)弘前大院理工)