[P01-19p-P] C: 高強度・高エネルギー レーザー応用

[P01-19p-P-09] EUV光源の高効率化実験に向けた短パルスCO₂レーザーの開発

*東原 望¹、空本 龍弥¹、森田 大樹¹、砂原 淳²、難波 愼一³、東口 武史¹ (1. 宇都宮大学、2. パデュー大学、3. 広島大学)