[11] ナノ・マイクロマテリアル

[11-54] Development of Low Temperature Metal-to-Silicon Sinter Joining Using Silver Oxide Decomposition

一般講演

^○Rei KAWABATA, Tomoki MATSUDA, Tomo OGURA, Tomokazu SANO,, Akio HIROSE (大阪大学大学院工学研究科)

Keywords:シリコン、銀、酸化銀、接合、焼結