[5] MEMS、医療センサ

[5-20] 導通部と絶縁部が共存するガラス同士の陽極接合界面の作成

一般講演

^○高橋誠 (大阪大学接合科学研究所)

キーワード：陽極接合、ガラス／ガラス重ね接合、陽極酸化、界面の機能化、電気伝導