高温素材プロセッシング

[P-08] 炭素熱還元による供給されたガリウム気相種の気体透過板上への析出

^○清野肇¹, 兼澤大樹¹, 飛岡夏果¹, 石鍋翼¹, 松原沙衣¹, 小林奈都紀¹, 櫻木香里¹ (1.芝浦工業大学)

キーワード：ガリウム, 高温, 炭素還元

窒化ガリウム(GaN)を利用した発光ダイオードの利用が本格的になってから約10年経過している．今後はこれら器具の廃棄が増加し，廃棄物からのガリウムの回収が重要になると考えられる．ガリウム化合物は高温の還元雰囲気で気化することが知られている．我々はこれまでに，高温で気化する性質を利用しガリウムの回収法を検討し，最近は気化したガリウム化合物をガス透過性を有するセラミックス製の板上に析出させる手法を考案した．本研究ではこのプロセスが進行する最適な条件を検討した．検討した項目は気体透過能を有する板の種類，反応容器の構造，還元材料，反応温度，雰囲気である．これらの検討によって，考案した反応容器においてガリウム化合物を一旦気化させ析出できることを確認した．