MRM2023/IUMRS-ICA2023

講演情報

Poster Session

G. Process » [G-1] Advanced Plasma Processing in the New Era

[G1-P501] Poster 501

2023年12月15日(金) 10:00 〜 12:00 Poster (Annex)

[G1-P501-07] Effects of Carbon Nanoparticle Interposed between Two Hydrogenated Amorphous Carbon Films on Surface Morphology of a-C:H Film

*Shinjiro Ono1, Manato Eri1, Takamasa Okumura1, Kunihiro Kamataki1, Naoto Yamashita1, Naho Itagaki1, Kazunori Koga1, Masaharu Shiratani1 (1. Kyushu Univ. (Japan))

キーワード:Plasma, Hydrogenated Amorphous Carbon, Carbon Nanoparticle, AFM, Stress Reduction

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