Molecular Dynamics Study of Al Implantation in 4H-SiC

講演情報

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2023年9月28日(木) 15:00 〜 16:30 Meeting Room1

Chair: Shunsuke Koba (Kobe City Col. Tech.), Hideki Minari (Sony Semiconductor Solutions)

Sabine Leroch¹, *Robert Stella¹, Andreas Hössinger², Lado Filipovic¹ (1. University of Technology Vienna, 2. Silvaco Ldt Europe)

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