[C-3/4-22] Cobalt-aluminium ferrite thin film properties for ultra-small magneto-optical devices
この講演は本会「学術奨励賞受賞候補者」の資格対象です。
Keywords:光アイソレータ、磁気光学効果、コバルトフェライト
従来のバルク型光アイソレータに用いられる磁気光学(MO)材料にはYIGやCe:YIGなどのガーネットフェライト結晶が用いられているが,シリコンなど半導体基板上に直接成長することが困難であり,集積性に優れる導波路型光アイソレータ実現の障害となっている.そこで,本研究では新たなMO材料としてCoFe2O4に注目した。CoFe2O4の特性は組成や中間層,スパッタ条件を変えることで変化する. 今回,光損失の低減を目指し,CoFe2O4のFeを一部Alに置換したCoAlFeO4 (CAFO)の堆積を検討した.Si上に中間層MgO,ZnOを用いた場合とSi上に直接堆積した場合のそれぞれのCAFO膜について特性を評価した結果を報告する.
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