[C-3/4] 光エレクトロニクス/レーザ・量子エレクトロニクス

[C-3/4-23] Impact of Reflections at MMI Combiner on Dynamic Extinction Ratio in Mach-Zehnder Silicon Optical Modulators

^○村尾覚志¹, 堀川剛² (1.三菱電機, 2.東工大)

Keywords:シリコンフォトニクス、光変調器、マッハ・ツェンダ

マッハ・ツェンダ（MZ）型シリコン光変調器では，その変調効率に起因して大きな動的消光比（ER）を得ることが困難である．位相シフタの長尺化は，吸収損失の増大や高周波帯域劣化に繋がり，また光の低群速度構造の採用は，吸収損失の増大だけでなく光波と高周波信号との速度不整合による光波形の劣化に繋がることが課題であった．ここでは，MZ型シリコン光変調器に対して，多モード干渉導波路（MMI）による合分岐領域における反射の影響を調査する．この反射が二つのMMI間において共振を引き起し，動的ERを悪化させる原因となることを示す．また，この共振が動的ERおよび光変調振幅（OMA）を逆に増強させる効果として働く条件について考察する．