[C-3/4] 光エレクトロニクス/レーザ・量子エレクトロニクス

[C-3/4-24] Mosaic-based power splitters with asymmetric splitting ratio using fine holes deployed on closest packing structure

^○御手洗拓矢³, 藤澤剛², 澤田祐甫¹, 沖本拓也¹, 八木英樹¹, 藤原直樹¹ (1.PETRA, 2.北大, 3.住友電工)

この講演は本会「学術奨励賞受賞候補者」の資格対象です。

Keywords:シリコンフォトニクス、モザイク状素子

光集積回路のさらなる高集積・多機能化に向けて, 小型でかつ, 多機能な光学受動素子が必要であり, その候補として, モザイク状素子が注目を集めている．我々はフォトニック結晶のような, 微細円孔を正方格子状に配列する構造を用いた受動素子を報告してきたが, 微細円孔形成におけるプロセス条件変動の影響を受けやすい構造であり, 本構造に起因した過剰損失が1 dB程度と大きかった．作製誤差に対する耐性を改善するため, 円孔の配置に最密充填構造を適用し, ほぼ同じ面積・ピクセル数で円孔間の距離を拡大した．今回は, 非対称パワースプリッタとして試作した最密充填構造によるモザイク状素子について報告する．