[C-2-2] Narrow Trench Filled Source/Drain Contact for 3D MOSFET

H. B. Lee¹, S. H. Ahn¹, B. G. Kim¹, W. C. Choi¹, J. H. Jung¹, J. H. Lee¹, S. H. Hahm¹ (1.Kyungpook National Univ., Korea)

https://doi.org/10.7567/SSDM.2008.C-2-2