[C-6-3] Low-k Impact on Circuit Performance Demonstrated in High-Speed LSIs

M. Tada², N. Inoue¹, J. Kawahara¹, H. Yamamoto¹, F. Ito¹, T. Fukai¹, M. Ueki¹, S. Miyake¹, T. Takeuchi¹, S. Saito¹, M. Tagami¹, N. Furutake¹, K. Hijioka¹, T. Ito¹, Y. Shibue¹, T. Senou¹, R. Ikeda¹, N. Okada¹, Y. Hayashi¹ (1.NEC Electronics Corp., 2.NEC Corp., Japan)

https://doi.org/10.7567/SSDM.2008.C-6-3