[G-6-1] Overview and Future Challenge of High Density FeRAM

I. Kunishima¹, Y. Shimojo¹, A. Konno¹, J. Nishimura¹, T. Okada¹, H. Nakaki¹, Y. Yamada¹, S. Kitazaki¹, H. Furuhashi¹, Y. Minami¹, H. Kanaya¹, S. Shuto¹, K. Tomioka¹, K. Natori¹, K. Yamakawa¹, S. Shiratake¹, D. Takashima¹, T. Hamamoto¹, Y. Watanabe¹, A. Nitayama¹ (1.Toshiba Corp.)

https://doi.org/10.7567/SSDM.2009.G-6-1