13:00 〜 13:35
*部家 彰1、住友 弘二1 (1. 兵庫県立大学)
一般講演
2022年6月29日(水) 13:00 〜 14:40 レジスト除去、エッチング、洗浄 (B3-5)
座長:石島 達夫(金沢大学)、堀邊 英夫(大阪公立大学)
13:00 〜 13:35
*部家 彰1、住友 弘二1 (1. 兵庫県立大学)
13:35 〜 14:10
*八田 章光1、Fitriani Sukma1、古田 寛1、矢島 英樹2 (1. 高知工科大学、2. オーク製作所)
14:10 〜 14:30
*神保 佳典1、水嶋 祐基1、真田 俊之1 (1. 静岡大学工学部)
14:30 〜 14:40