14:40 〜 15:00
*相澤 洸1,2、櫻井 匡1、榧森 悠介1、Nyar Paing Khant1、中野 裕介1、田中 康規1、石島 達夫1 (1. 金沢大学、2. (株)米倉製作所)
一般講演
2022年6月29日(水) 14:40 〜 15:50 レジスト除去、エッチング、洗浄 (B3-5)
座長:神村 共住(大阪工業大学)、堀邊 英夫(大阪公立大学)
14:40 〜 15:00
*相澤 洸1,2、櫻井 匡1、榧森 悠介1、Nyar Paing Khant1、中野 裕介1、田中 康規1、石島 達夫1 (1. 金沢大学、2. (株)米倉製作所)
15:00 〜 15:40
*石島 達夫1、相澤 洸1,2、田中 康規1、堀邊 英夫3 (1. 金沢大学、2. 米倉製作所、3. 大阪市立大学)
15:40 〜 15:50