講演情報

一般講演

[2B3-501-04] レジスト除去、エッチング、洗浄

2022年6月29日(水) 13:00 〜 14:40 レジスト除去、エッチング、洗浄 (B3-5)

座長:石島達夫(金沢大学)、堀邊英夫(大阪公立大学)

13:35 〜 14:10

[2B3-502] 水/エタノール混合蒸気大気圧プラズマを用いたPTFE表面の処理と分析 [招待講演]

*八田章光¹、Fitriani Sukma¹、古田寛¹、矢島英樹² (1. 高知工科大学、2. オーク製作所)