スケジュール 4 15:00 〜 15:40 [2B3-506] マイクロ波励起水蒸気プラズマによるポリマー薄膜のアッシング特性の検討 [招待講演] *石島 達夫1、相澤 洸1,2、田中 康規1、堀邊 英夫3 (1. 金沢大学、2. 米倉製作所、3. 大阪市立大学)