2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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[16p-C11-1~12] 界面ナノ電子化学:産業界における最先端半導体デバイスのナノレベル界面制御の課題

2013年9月16日(月) 13:00 〜 17:15 C11 (TC3 2F-210)

14:00 〜 14:15

[16p-C11-3] ナノスケールのスリット内への液体浸入に関する分子動力学解析(第2報: 残留ガスの影響)

山口康隆1,中岡聡1,川上雅之2,矢野大作2,山中弘次2 (阪大院工1,オルガノ2)

キーワード:molecular dynamics